Behandlingen af præcisionsdele kan ikke fuldføre alle behandlingsindhold på alle overflader i en enkelt proces. Hele bearbejdningsprocessen for præcisionsdelingsprocesser kan opdeles i følgende trin:
(1) Roughing stadium. De fleste bearbejdningsgodtgørelser fjernes fra hver af de bearbejdede overflader, og der laves fine referencer. Hovedvægten er at øge produktiviteten så meget som muligt.
(2) Halvafslutningsfase. Fjernelse af defekter, der kan opstå efter hård bearbejdning, forbereder overfladen til færdigbearbejdning, kræver en vis grad af bearbejdning nøjagtighed, garanterer et passende efterbehandlingsbidrag og afslutter bearbejdning af sekundære overflader samtidig.
(3) efterbehandling fase. På dette stadium bruges en stor skærehastighed, en lille tilspændingshastighed og en dybdeskarphed til at fjerne efterbehandlingsgodtgørelsen efterladt af den foregående proces, således at overfladen af delen når de tekniske krav til mønsteret.
(4) efterbehandling fase. Det bruges hovedsageligt til at reducere overflade ruhedsværdien eller styrke den bearbejdede overflade. Det anvendes hovedsageligt til overfladebehandling med høj overflade ruhed (ra <0,32>
Ultra-præcisionsbehandlingstrin. Behandlingspræcisionen er 0,1-0,01 μm, og overfladens ruhedsværdi er ra ≤ 0,001 μm. De vigtigste forarbejdningsmetoder er: præcisionsskæring, præcisionsspejlslibning, præcisionsslibning og polering mv